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The IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing addresses the challenging problems of manufacturing complex microelectronic components, especially very large scale integrated circuits (VLSI). Manufacturing these products requires precision micropatterning, precise control of materials properties, ultraclean work environments, and complex interactions of chemical, physical, electrical and mechanical processes.
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 2012;25(4):542-548. DOI:10.1109/tsm.2012.2205166
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 2014;27(3):443-451. DOI:10.1109/tsm.2014.2336701
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 2013;26(1):53-68. DOI:10.1109/tsm.2012.2220572
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 2009;22(3):329-337. DOI:10.1109/tsm.2009.2024821
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 2007;20(4):376-380. DOI:10.1109/tsm.2007.907610
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