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Microsystems & Nanoengineering publishes original research articles and reviews in the latest aspects of Micro and Nano Electro Mechanical Systems (MEMS/NEMS) and nanoengineering relevant to MEMS/NEMS. The journal will cover new design (theory, modelling and simulation), fabrication, characterization, reliability, and applications of devices and systems in micro and nano scales. Nano-engineered MEMS/NEMS will be also within the scope of publication in this journal.
Microsystems & nanoengineering. 2025 Mar 12;11(1):47. DOI:10.1038/s41378-025-00888-5
Microsystems & nanoengineering. 2025 Mar 10;11(1):46. DOI:10.1038/s41378-024-00823-0
Microsystems & nanoengineering. 2025 Mar 7;11(1):44. DOI:10.1038/s41378-024-00864-5
Microsystems & nanoengineering. 2025 Mar 7;11(1):45. DOI:10.1038/s41378-024-00835-w
Microsystems & nanoengineering. 2025 Mar 7;11(1):43. DOI:10.1038/s41378-025-00874-x
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